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판례심판

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판례심판 상세정보 게시판
분류 [ 특허심판 > 거절불복 ] 기타
사건명 2010년 특허출원 제7027722호 『고압 급속 열 처리 장치 및 방법』의 거절결정불복
사건번호 2016원2334 판결기관 특허심판원
판결종류 거절불복 선고일자 2016-12-30
원고(청구인) 어ㅇㅇㅇㅇ ㅇㅇㅇㅇㅇㅇ, ㅇㅇㅇㅇㅇㅇㅇ
주장
■ 청구 취지

 


 O 원결정을 취소함

 


 O 2010년 PCT 특허출원 제7027722호는 특허결정함

 






 


■ 비교대상발명의 요지

 


 O 비교대상발명 1은 국제공개특허공보 WO2006/87777(2006. 8. 24. 공개)에 기재된 ‘가압식 램프 어닐 장치, 가압식 램프 어닐 처리방법, 박막 및 전자부품’에 관한 것임

 


 O 비교대상발명 2는 일본공표특허공보 특표2000-515331호(2000. 11. 14. 공개)에 기재된 ‘RTP 챔버를 위한 자기적 부상형 회전장치’에 관한 것임

 






 


■ 청구인의 주장

 


 O 이 사건 제1항 발명의 급속 열처리 챔버를 1.5 절대압 내지 5.0 절대압 범위의 압력으로 가압하여 오염 물질을 감소시키는 효과를 얻을 수 있는데 반해, 비교대상발명 1은 이러한 효과를 전혀 인식하고 있지 않고, 비교대상발명 1은 가열 레이트에 기술적 중요성을 두고 있지 않은 것임

 


 O 통상의 기술자가 단순히 실시예들을 나열하는 정도에 그친 비교대상발명 1로부터, 이 사건 제1항 발명에서와 같이 오염물질의 감소, 비용 및 가열 효율에의 영향 사이에서의 균형을 고려하여 결정된 챔버 압력과 가열 레이트의 범위를 동시에 도출하는 것은 용이하지 않은 것임
판결요지
■ 판단

 


 O 이 사건 제1항 발명의 진보성 여부


 


  <기술분야 및 목적 대비>

 


  - 이 사건 제1항 발명은 급속 열처리 챔버 내에서 기판을 처리하는 방법에 관한 것이고, 비교대상발명 1은 가압식 램프 어닐 처리 방법에 관한 것으로서, 이 사건 제1항 발명과 비교대상발명 1은 모두 기판을 급속 열처리하는 방법에 관한 것이라는 점에서 그 기술분야가 동일함


 


  <구성 및 작용효과 대비>

 


  - 구성 1은 ‘급속 열처리 챔버 내에서 기판을 처리하는 방법’으로, 이는 비교대상발명 1의 가압식 램프 어닐 장치의 챔버 내에서 기판을 열처리하는 방법에 대응되는 동일한 구성임

 


  - 구성 2는 ‘상기 급속 열처리 챔버 외부로부터 접근 포트를 통하여 상기 급속 열처리 챔버의 내부 영역에 위치된 환형 지지부 상으로 기판을 통과 시키는 단계’로서 이는 가압식 램프 어닐 장치의 챔버의 외부로부터 게이트밸브의 개구부를 통해 챔버 내부로 기판을 도입하여 재치대 위에 기판을 재치하는 구성에 대응되는 동일한 구성임

 


  - 구성 3은 ‘상기 급속 열처리 챔버가 밀봉되도록 상기 접근 포트를 폐쇄하는 단계’로서, 이는 비교대상발명 1의 챔버 내부로 기판을 도입한 후 게이트 밸브를 폐쇄하는 구성에 대응되는 동일한 구성임

 


  - 구성 4의 챔버의 압력 1.5 내지 5.0 절대압의 범위는 비교대상발명 1의 챔버의 압력 1MPa(9.87 기압)의 범위 이내이고 반복 실험을 통해 용이하게 도출할 수 있는 압력 범위라고 할 것이므로, 통상의 기술자가 비교대상발명 1의 챔버의 압력 범위로부터 구성 4의 챔버의 압력 범위를 도출하는 것에 기술적인 곤란성이 있음

 


  - 구성 5의 적어도 50℃/초의 레이트는 비교대상발명 1의 승온레이트의 범위 이내이고, 통상의 기술자가 반복 실험을 통해 구성 5의 승온레이트를 도출하는 것에 각별한 기술적 곤란성이 있다고 볼 수 없음


 


  <대비 결과의 정리>

 


  - 이 사건 제1항 발명은 비교대상발명 1에 비하여 목적의 특이성이 없고, 구성의 곤란성 및 작용효과의 현저성이 인정되지 아니하므로, 그 진보성이 부정됨

 






 


■ 소결

 


 O 이 사건 제1항 발명은 통상의 기술자가 비교대상발명 1에 의하여 용이하게 발명할 수 있는 것이므로 특허법 제29조 제2항의 규정에 의해 특허를 받을 수 없고, 특허출원에서 특허청구범위가 둘 이상의 청구항으로 이루어진 경우에 어느 하나의 청구항이라도 거절이유가 있으면 그 출원은 일체로서 거절되어야 하므로, 더 나아가 이 사건 출원발명의 나머지 청구항에 대하여 살펴볼 필요 없이 이 사건 출원발명을 거절한 원결정은 적법함

 






 


■ 주문

 


 O 이 사건 심판청구를 기각하기로 하여 주문과 같이 심결함

 


 ※상세내용 붙임파일 확인 
첨부파일 2010년_특허출원_제7027722호.pdf
출처 특허심판원
등록일 2017-12-05

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